系統(tǒng)型號(hào)

PECVD-12IH-500A

PECVD-12II-3Z/G

PECVD-12IIH-3Z/G

PECVD-Y12IIH-3Z/G

最高溫度

1200℃

加熱區(qū)長(zhǎng)度

200mm

420mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

70mm

200mm

溫區(qū)

單溫區(qū)

雙溫區(qū)

石英管管徑

Φ50/Φ60/Φ80/Φ100mm

額定功率

1.2Kw

3.2Kw

6.2Kw

額定電壓

220V

滑動(dòng)距離

200mm

380mm

滑動(dòng)方式

手動(dòng)滑動(dòng)/自動(dòng)滑動(dòng)(由溫度控制器自動(dòng)控制移動(dòng)。當(dāng)程序完成，爐子按設(shè)定的速度滑動(dòng))

溫度控制

國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫

控制精度

±1℃

爐管最高工作溫度

<1200℃

氣路法蘭

采用多環(huán)密封技術(shù)卡箍快速連接

排風(fēng)冷卻裝置

先進(jìn)的空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，當(dāng)爐體表面溫升到50℃時(shí)，排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng)，使?fàn)t體表面快速降溫

氣體控制方式

質(zhì)量流量計(jì)(按鍵式)

氣路數(shù)量

1～3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)

流量范圍

0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配)氮?dú)鈽?biāo)定

精度

±1%F.S

響應(yīng)時(shí)間

1sec

工作溫度(流量計(jì))

5-45℃

工作壓力

進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

進(jìn)氣方式

采用防倒流設(shè)計(jì)

規(guī)格

中真空

高真空

系統(tǒng)真空范圍

1-1000Pa(可選配其它量程)

10-1x10-3Pa

真空泵

雙極機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽泣速率4L/S (選配：其它抽速真空泵),出氣口配有油霧過濾器， 額定電壓220V,功率0.55Kw

真空分子泵理論極限真空度真空分子泵理論極限真空度 5x10-Pa,抽泣速率1200L/S(選配：5x10-6Pa,抽泣速率1600L/S(選配： 其它抽速真空泵),出氣口配有油霧 其它抽速真空泵),出氣口配有油霧 過濾器，額定電壓220V,功率2Kw  過濾器，額定電壓220V,功率2Kw

信號(hào)頻率

13.56MHz±0.005%

功率輸出范圍

0-100W

1-500W

最大反射功率

≤1%

工作功率

≤70W

≤350W

射頻輸出接口

50Ω,N-type,temale

功率穩(wěn)定度

±0.1%

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ

冷卻方式

風(fēng)冷

整機(jī)功率

≤70%

屏幕顯示

正方向功率，匹配器電容位置，偏置電壓值

系統(tǒng)外形尺寸

530×1440×750mm

530×1440×750mm               530×1740×750mm

系統(tǒng)總重量

230Kg

230Kg

290Kg

330Kg